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HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量計
簡要描述:

HORIBA堀場D700uF微流量壓力不敏感質量流量模塊
HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊

  • 產品型號:D700uF
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-02-12
  • 訪  問  量:54

詳細介紹

HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊

HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊

D700uF


微流量壓力不敏感質量流量模塊

D700uF(Micro Flow) 專為 ≤ 5SCCM 流量應用而設計。
≤ 5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中一直非常關鍵。
專用組件和新開發(fā)的內部低流量標準可實現(xiàn)低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

  • 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

    • 精確的調諧氣體控制,增強工藝可調性

  • ≤ 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制

    • 提供高生產率和更好的過程性能

  • 內部流量計量

    • 所有制造產品的性能可靠

  • 狀態(tài)監(jiān)控功能

    • 提供更多內部數(shù)據(jù),實現(xiàn)更智能的故障預測

  • PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性

    • 堅固耐用,顆粒風險更低,減少停機時間并優(yōu)化產量


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