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產品型號：UR421-T/UR600/UR1200廠商性質：代理商更新時間：2024-11-25訪 問 量：156
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詳細介紹
日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
UR系列可以達到比HR系列更高的溫度。
配備氦氣密閉電機，密封結構，安全性高
瞬時停電對策：
實施1000msec以內的瞬時停電對策。
優(yōu)異的耐腐蝕性
主要部件采用特殊表面處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異。當腐蝕性氣體排出時，減少泵內部的腐蝕。
通訊功能：
可以讀取與泵運行狀態(tài)和警告/報警歷史相關的數據。通過使用專用軟件并與計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。
化學氣相沉積設備
蝕刻設備
灰化裝置
酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等
| 模型 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 數據恢復計劃 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| MBP | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大抽速 | 410 立方米/小時 （6833 升/分鐘） | 653 立方米/小時 （10883 升/分鐘） | 1012 立方米/小時 （16867 升/分鐘） | 1701 立方米/小時 （28350 升/分鐘） | 2700立方米/小時 （45000升/分鐘） | ||||
| 極限壓力 | 5.0帕 | ||||||||
| 最大入口壓力 （吸入壓力） | 大氣壓*1 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出壓力） | 1~大氣壓Pa | ||||||||
| 進氣口（CE規(guī)格） | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排氣口 | VG50 | 西北40 | 西北50 | ||||||
| 大量的 | 415公斤 | 370公斤 | 403公斤 | 553公斤 | 720公斤 | ||||
| 電力 | 三相 | 180-240VAC/ 380-440VAC （50/60Hz） | 200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz) | 180-240VAC/ 380-440VAC （50/60Hz） | |||||
| 當前值 | 穩(wěn)定狀態(tài) | 23A（200V 時） | 16.4A（200V 時） | 18.9A（200V 時） | 29.2A（200V 時） 20.5A（400V 時） | 39.8 A（200V 時） 20.5 A（400V 時） | |||
| 最大值 | 52.5A（200V 時） | 17.3A（200V 時） | 22.4A（200V 時） | 34.9 A（200V 時） 40.5 A（400V 時） | 68.3 A（200V 時） 40.5 A（400V 時） | ||||
| 冷卻水暫壓 | 0.2~0.5兆帕 | 0.1~0.3兆帕 | 0.2~0.5兆帕 | ||||||
| 冷卻水進出水壓差 | >0.2兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.2兆帕 | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0升/分鐘 | ||||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 0.1~0.5兆帕 | |||||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1兆帕 | ||||||||
| 氮氣吹掃 | 軸 | 5 可持續(xù)發(fā)展管理 | |||||||
| 加斯巴拉 | 0~195 SLM | 0~45SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
*1 請勿在吸入壓力為 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。
*對于規(guī)格表中未列出的UR系列的訂單，請單獨檢查。
■駕駛模式
| 駕駛方式 | 1 | 2 | 3 | ||||
| 氮氣流量 | 可持續(xù)發(fā)展管理 | 0 | 5 | 5~50 *1 | |||
訂購時請注明驅動方式。 （UR系列的標準設定：3）
*1 UR421-T、UR3601-TT的N2流量為5～200SLM。
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