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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐
簡(jiǎn)要描述:

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科6090 6150半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):6090 6150
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-11-25
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:179

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐


熱輥真空熱處理爐FHHn系列

可廣泛用于各種金屬零件的熱處理、釬焊、燒結(jié)等真空熱處理。 通過(guò)采用熱輥輸送方式并組合各單元室,可以構(gòu)成適合工藝的多室爐。


特征

  • 通過(guò)采用熱輥輸送方式,可以實(shí)現(xiàn)具有三個(gè)以上室的多室爐。

  • 您可以根據(jù)您的工藝,通過(guò)組合準(zhǔn)備室(真空/大氣交換)、預(yù)熱室(通常為 500℃)、加熱室(通常為 1150℃)和冷卻室單元來(lái)配置最佳設(shè)備。

  • 通過(guò)用雙閘閥分隔每個(gè)室,可以分離真空/大氣。

  • 通過(guò)使用載氣法,可以在蒸發(fā)較少的情況下處理金屬。

  • 可以根據(jù)計(jì)劃生產(chǎn)量添加單位。

  • 可以在線(xiàn)處理加熱 1 → 冷卻 1 → 加熱 2 → 冷卻 2 → 從產(chǎn)品組中移除。

目的

  • 真空熱處理:各種金屬的熱處理、釬焊

  • 燒結(jié)處理:磁鐵

規(guī)格

規(guī)格/型號(hào)60906150評(píng)論
表現(xiàn)
尺寸均勻加熱尺寸(mm)寬度600600
長(zhǎng)度9001500
高度600600
最大處理量(kg)500800包括托盤(pán)重量
溫度最高溫度預(yù)熱室600℃
加熱室1200℃
常用溫度預(yù)熱室500℃
加熱室1100℃
冷卻氣體冷卻標(biāo)準(zhǔn)30分鐘內(nèi)Ar、N2氣體
可選
壓力式190kPaG
真空極限壓力標(biāo)準(zhǔn)10 -1帕級(jí)空爐脫氣后值
高真空型10 -3帕級(jí)
常壓標(biāo)準(zhǔn)(1)1Pa~10Pa(1) 低真空中
(2) 載氣中
標(biāo)準(zhǔn)(2)10Pa~100Pa
高真空型10-210-1
排氣時(shí)間準(zhǔn)備室10分鐘內(nèi)空氣爐內(nèi)氣壓至10Pa以下
預(yù)熱室10分鐘內(nèi)
冷卻室10分鐘內(nèi)
泄漏率準(zhǔn)備室4×10 -4以下增壓法
預(yù)熱室4×10 -4以下
加熱室2×10 -4以下
冷卻室4×10 -4以下
公用事業(yè)

3室型
(預(yù)熱×1加熱×1冷卻×1)

電能(千伏安)300第480章設(shè)備電量
冷卻水量(m 3 /hr)1518水溫:20-30℃
壓縮空氣量(Nm 3 /min)11001100所需流量
載氣量(L/min)80200流量計(jì)最大值
冷卻氣體量(m 3 /次)912190kPa加壓冷卻
建筑面積(平方米寬度1012
長(zhǎng)度1013
高度5.85.8
5室型
(預(yù)熱×2加熱×2冷卻×1)
電能(千伏安)第425章750設(shè)備電量
冷卻水量(m 3 /hr)二十五30水溫:20-30℃
壓縮空氣量(Nm 3 /min)11001100所需流量
載氣量(L/min)160300流量計(jì)最大值
冷卻氣體量(m 3 /次)911.7190kPa加壓冷卻
建筑面積(平方米寬度1012
長(zhǎng)度12.517.5
高度5.85.8


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